Как бластирането със сух лед трансформира производството на полупроводници

В забързания-свят на производството на полупроводници чистотата е всичко. Дори една частица с размери от 1 микрон-много по-малка от прашинка-може да доведе до повреда на чипа, което води до скъпи дефекти и бракувани продукти. Тъй като характеристиките на чиповете се свиват до наномащабни нива, търсенето на ултра-чисти производствени среди никога не е било по-високо.

Традиционните методи за почистване на полупроводници, като мокро химическо почистване, ултразвукови вани или плазмено ецване, са служили добре на индустрията, но все повече не успяват. Тези подходи често включват агресивни химикали, генерират вторични отпадъци, изискват продължително охлаждане на оборудването и рискуват да повредят деликатни компоненти-всичко от което води до по-дълъг престой, по-високи разходи и опасения за околната среда.

Това е мястото, където струята със сух лед се появява като решение,-променящо играта. Тази новаторска, не-абразивна почистваща технология бързо се превръща в предпочитан метод за поддръжка на прецизно оборудване в производството на полупроводници. В тази статия ще проучим как струенето със сух лед осигурява почистване-без остатъци, повишава ефективността на производството и помага на производителите да постигнат строги цели за качество и устойчивост.

Какво е струене със сух лед?

Струване със сух лед(известен също катоCO₂ бластиране) е прост, но мощен процес на почистване. Той използва твърди частици CO₂-пелети от сух лед, охладени до -78 градуса, които се задвижват с висока скорост с помощта на сгъстен въздух.

При удар частиците сух лед се сублимират моментално, превръщайки се директно от твърдо в газообразно. Това бързо разширяване повдига замърсителите от повърхността чрез комбинация от кинетична енергия и топлинен шок, без да оставя никакви остатъци.

Основните предимства на почистването със сух лед включват:

• Не{0}}абразивен: Нежен към деликатни повърхности, предотвратявайки драскотини или ецване.
• Без-остатъци: Без вторични отпадъци, тъй като сухият лед просто изчезва в газ.
• Без химикали: Елиминира необходимостта от разтворители или агресивни агенти.
• Екологично: Използва рециклиран CO₂ и не произвежда допълнителни потоци отпадъци.

Ето кратко сравнение с обичайните традиционни методи, използвани при почистване на полупроводници:

Както можете да видите, струйното почистване със сух лед се отличава със своя чист, ефективен профил-, което го прави идеално за изискванията за прецизност при производството на полупроводници.

Приложения за бластиране със сух лед в производството на полупроводници

Струването със сух лед е многофункционално и е отлично в много критични области на производството на полупроводници, където дори незначително замърсяване може да съсипе добивите. Ето някои основни приложения:

• Отстраняване на фоторезист върху вафли: Внимателно премахва органичните остатъци и леките слоеве фоторезист, без да уврежда крехките повърхности на вафлите.
• Почистване на матрици и приспособления: Премахва натрупването на восък, остатъците от газ и замърсителите от шприцформите и инструментите, използвани за опаковане на чипове.
• Отлагане и отстраняване на остатъци от газ: Почиства натрупаните материали от инструментите за обработка без внасяне на влага или частици.
• Вакуумна камера, стая за отлагане и почистване на оборудването за ецване: Дълбоко-почиства чувствителни интериори, включително CVD реактори и инструменти за полиране, като същевременно запазва прецизните геометрии.
• Системи за обработка на вафли и поддръжка на конвейер: Предпазва роботизираните ръце, трансферните ленти и други движещи се части чисти от прах и отломки.

Тези задачи за прецизно почистване се възползват значително от не{0}}проводимия и сух характер на сухия лед, което позволява почистване в чисти помещения без риск от електростатичен разряд или проблеми,-свързани с влага.

Как бластирането със сух лед трансформира производството на полупроводници

Истинската сила на струята със сух лед се крие в способността му да се справя с най-големите болезнени точки в индустрията. Ето как води до значима промяна:

Значително намалява времето за престой на оборудването

Традиционното почистване често изисква охлаждащо оборудване, разглобяване и продължително време за сушене. Струването със сух лед често може да се извършва на-място и онлайн, намалявайки циклите на почистване от часове на минути и минимизирайки прекъсванията на производството.

Подобрява добива на чипове и ефективността на производството

Чрез по-задълбочено и последователно премахване на замърсителите, почистването със сух лед помага за намаляване на дефектите и повторната обработка. Производителите съобщават за по-висока производителност и по-добра обща ефективност на оборудването.

Осигурява наистина не{0}}абразивно почистване за чувствителни компоненти

Деликатните вафли, фотомаските и инструментите остават неповредени, запазвайки строги допуски, които са от съществено значение за напреднали възли (като 3nm и по-ниски).

Отговаря на строги екологични разпоредби и ESG цели

Без химикали, без отпадъчни води и без вторични отпадъци, струйното почистване със сух лед поддържа екологосъобразно почистване-в съответствие с нарастващите изисквания за устойчивост в производството на полупроводници.

Постига значителни икономии на разходи в сравнение с традиционните методи

По-ниските нужди от работна ръка, намалените такси за изхвърляне на отпадъци, по-малкото износване на оборудването и по-краткия престой допринасят за впечатляващите спестявания на разходи за струене със сух лед.

При-реална употреба времето за почистване на съоръженията е намаляло с до 70%, със съответните увеличения на добива и оперативната ефективност.

Реални-святови казуси и данни

Ползите от струята със сух лед в производството на полупроводници не са само теоретични-водещите съоръжения в световен мащаб вече виждат впечатляващи резултати.

• Случай 1: Основен завод за производство на вафли

Водеща леярна в света премина към почистване със сух лед за своите камери за отлагане и инструменти. Времето за почистване на оборудването спадна драстично-от около 8 часа при използване на традиционни методи до само 2 часа. Това доведе до 70% намаление на времето за престой, позволявайки повече производствени цикли и значително по-висока производителност.

• Случай 2: Фоторезист и отстраняване на остатъци

В друго съоръжение, фокусирано върху усъвършенствани възли, бластирането със сух лед подобри ефективността на отстраняване на фоторезиста до 3 пъти в сравнение с мокрите химически процеси. Процентът на дефектите спадна значително, което допринесе за по-добро цялостно качество на чипа и по-малко отхвърлени пластини.

Отзиви от индустрията и доклади за тези печалби: много полупроводникови операции, използващи бластиране със сух лед, отчитат подобрения на добива с 15-25%, намаление на разходите за почистване с 30-50% и по-бързо връщане към производство благодарение на почистването на място. Тези резултати от реалния свят подчертават надеждното, измеримо въздействие на тази технология върху ефективността и рентабилността.

Защо бластирането със сух лед заменя традиционните методи

Тъй като полупроводниковите процеси се насочват към по-фини характеристики-като 3nm и 2nm възли-толерантността към замърсяване се свива до почти нищо. Традиционните подходи за почистване трудно успяват да се справят, докато струенето със сух лед се очертава като предпочитан стандарт за прецизност и устойчивост.

Ето едно директно сравнение:

Струването със сух лед печели, защото осигурява цялостно почистване без недостатъците на по-старите методи. Избягва вторичните отпадъци, елиминира агресивните химикали и защитава деликатното оборудване-перфектно за тенденциите в технологиите за почистване на полупроводници, изискващи по-висока чистота, по-нисък отпечатък върху околната среда и минимални прекъсвания на производството.

Как да изберем правилното оборудване за бластиране със сух лед за производство на полупроводници

Изборът на най-доброто полупроводниково оборудване за почистване със сух лед се свежда до съгласуване на машината с вашите специфични нужди в среда с висока{0}}прецизност.

Основни фактори, които трябва да имате предвид:

• Прецизност на контрола на налягането: Ниски и регулируеми настройки (до много нежни нива) за безопасно почистване на чувствителни вафли, маски и камери без риск от повреда.
• Регулиране на размера на частиците: Системи, които ви позволяват да променяте размера на частиците сух лед за всичко - от леко повърхностно разпрашаване до по-дълбоко отстраняване на замърсители.
• Съвместимост с чисти помещения: HEPA филтриране, не{0}}проводими материали и дизайни, които предотвратяват въвеждането на частици.
• Ниво на автоматизация: Опции за роботизирана интеграция или ръчни устройства, в зависимост от това дали почиствате-на линия или по време на поддръжка.

За повечето полупроводникови приложения прецизният бластер със сух лед под ниско{0}}налягане е идеален. Тези машини предлагат фино{2}}настроен контрол, надеждна производителност в чисти стаи и ефективно използване на сух лед-помагайки за поддържане на строги толеранси, като същевременно поддържат гладкото протичане на операциите.

Търсите надежден производител на машини за струене със сух лед?

YJCO2 е водещ китайски производител на машини за бластиране със сух лед, ползващ се с доверие от над 3000 клиенти по целия свят-включително повече от 70 публично регистрирани компании в Китай. Като одобрен доставчик на Foxconn и единствената марка за почистване със сух лед, избрана за електронния супермаркет на China Aerospace, YJCO2 е признат за своята доказана надеждност във високо-технологични среди.

YJ-09 Индустриална машина за почистване със сух лед - Идеален за почистване на полупроводници:

• Компактен дизайн (75×56×95 см, 80 кг) с колела за лесно придвижване в тесни чисти помещения.
• Мощен 500 W вносен мотор, който удвоява скоростта и налягането на изхода на лед в сравнение със стандартните модели.
• Персонализиран, устойчив на ниски{0}}температури-маркуч от 38 mm и изцяло-алуминиева плоска-накрайник за устата за постоянно, голямо{5}}подаване на сух лед.
• Гъвкави опции за управление: педал, ръчно, дистанционно или IO интеграция.
• Широка съвместимост на напрежение (110-240V) за глобална употреба.

Свържете се с нас сега за конкурентна оферта!

Заключение

Струването със сух лед фундаментално променя начина, по който производството на полупроводници се справя с почистването. Осигурява по-бърз, по-безопасен начин-без остатъци за поддръжка на оборудването, като повишава добивите, намалява времето за престой и отговаря на строгите екологични стандарти-като същевременно защитава деликатните компоненти.

Ако търсите да подобрите ефективността, да намалите разходите и да осигурите по-високо качество на продукта на вашата производствена линия, това може да е решението за почистване на полупроводници със сух лед, което търсите.

Интересувате ли се да видите дали струята със сух лед пасва на вашата настройка? Свържете се с нас за безплатна -оценка на място или демонстрация на оборудване-ние сме тук, за да ви помогнем да проучите възможностите.